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photonic-lattice厚度/折射率分布椭偏仪SE 系列 这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大⌀300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它 支持各种膜厚分布测量。
更新时间:2024-07-11photonic-lattice厚度/折射率测量椭偏仪 ME 系列 这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大⌀300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它 支持各种膜厚分布测量。
更新时间:2024-07-11photonic-lattice偏光高速相机水晶 PI-5WP 这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备,它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。 它是一种可以在线安装的类型,光源和测量台可以分开。
更新时间:2024-07-11photonic-lattice红外高速摄像机X6981 SLS / X6901sc SLS 这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备,它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。 它是一种可以在线安装的类型,光源和测量台可以分开。
更新时间:2024-07-11photonic-lattice在线/离线双折射映射KAMAKIRI X 舞台 这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备,它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。 它是一种可以在线安装的类型,光源和测量台可以分开。
更新时间:2024-07-11