日本napson晶圆平面度测量系统

产品型号：FLA-200
更新时间：2024-07-12

简要描述：日本napson晶圆平面度测量系统FLA-200
支持厚度测量、PN判断、温度测量（硅晶圆）
自检功能，测量范围广
厚度/周边位置/温度校正功能（电阻率（resistivity）测量）
可根据要求容纳任意数量的包埋盒。
*可选：通讯软件，兼容SMIF或FOUP

在线咨询

产品详情

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	环保,化工,能源,电子,综合

日本napson晶圆平面度测量系统FLA-200

日本napson晶圆平面度测量系统FLA-200的介绍

深圳九州工业品有限公司成立于2016年，坐落于年轻奋进的深圳市，是一家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸易、经营进出口等业务。联合国际名品牌搭建工业品供应链，采用与 MRO分销商结盟的方式，把零散采购订单集中处理，流程简化，提供一站式供应服务。在美国、德国、日本、韩国、中国台湾建立采购中心，以流的专业国际采购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与厂家建立快捷、有效的沟通，和众多国外生产厂家建立了长久合作伙伴关系。

非接触式平面度和厚度测量系统。测量晶圆样品的平整度（TTV、BOW、WARP）和厚度。
・支持厚度、TTV、BOW、翘曲、场地平面度和整体平面度的测量（符合 ASTM）
・2D、3D映射显示软件
・数据可以输出为CSV文件
・5mmφ芯电容探头高精度测量
・12,000点/60秒以内的高速测量
测量对象
・半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
・硅外延、离子注入样品
・化合物半导体（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
测量尺寸
3 到 8 英寸
测量范围
厚度：200 –1200μm
弯曲度：+/-350μm
经度：350μm

在线咨询

上一篇：EC-80日本napson非接触式电阻计
下一篇：ELSZneo日本otsukael 电位/粒径/分子量测量系统

日本napson晶圆平面度测量系统

测量对象

测量尺寸

测量范围

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：