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相关文章简要描述:koenn伺服马达驱动器 FlexPro/Micro-Z Nanomotion Inc. 的超声波马达可以显着移动载物台并以纳米精度定位。用于半导体设备真空室中的晶圆传送和电子显微镜的微动。这种超声波马达将称为元件的突起压在载物台上并高速振动以移动载物台。请试用与一般电动机不同的结构简单的执行器。
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
koenn伺服马达驱动器 FlexPro/Micro-Z
koenn伺服马达驱动器 FlexPro/Micro-Z
Nanomotion Inc. 的超声波马达可以显着移动载物台并以纳米精度定位。
用于半导体设备真空室中的晶圆传送和电子显微镜的微动。
这种超声波马达将称为元件的突起压在载物台上并高速振动以移动载物台。请试用与一般电动机不同的结构简单的执行器。も内蔵しています。位置制御、荷重制御、圧力制御に適しており、入力段は、3 入力( SIG、FB1、FB2 )加算型となっています。特に FB2 は指令信号とフィードバック信号が同極性の場合に対応する為に、インバータ回路が内臓されていす。入力信号は電圧(±10V)と電流(4-20mA)に対応しています。出力段は、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動する電流出力となっています。又、電圧入力(±10V)型サーボ弁(直動弁、三段型サーボ弁)駆動用に電圧出力にも対応しています。
电源 | DC24V±10%电流0.3A | |
输入信号 SIG、FB1、FB2 共用 | ±10V 电压输入阻抗 100kΩ 4 至 20mA 电流输入阻抗 249Ω | |
输出额定值 | ±100mA以下可通过内部DIP开关选择 或±10V 电流可从5、10、15、20、30、40、50、60、70、80、90、100mA中选择 | |
环境温度、湿度 | 0 至 +50°C,90% RH 或更低 | 无结露 |
抖动信号 频率调整范围 Level调整范围 | 200Hz正弦波 调节范围在额定输出电流的20%pp以内 | |
外形尺寸 | 42W x 184H x 102D(毫米) | 不包括连接器的突起 |
大量的 | 0.65公斤 |