pnpWAFER FOUP 盒传送装置

产品型号：112
更新时间：2024-07-10

简要描述：pnpWAFER FOUP 盒传送装置112
G8(长2200mm x 宽2400mm) 液晶玻璃基板制造设备用开合盖装置，具有升降、滑动、翻转功能。

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产品详情

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	环保,化工,能源,电子,综合

pnpWAFER FOUP 盒传送装置112

G8(长2200mm x 宽2400mm) 液晶玻璃基板制造设备用开合盖装置，具有升降、滑动、翻转功能。这是液晶检查设备的装载/卸载装置。存放在卡盒中的液晶基板，通过直角坐标系（X、Y、Z、Θ轴）的机械手控制，一张一张取出，基板对齐后，输送至光学系统检测（缺陷测量）装置。检查后，基板返回盒中。基板尺寸对应G3.5 (620mm x 750mm)。液晶面板用玻璃基板搬运夹具。
兼容基板尺寸 G7 (1870mm x 2200mm)。这是在半导体工厂中进行工序间搬运的中间搬入搬出装置。将 AGV 和 PGV 提供的 FOUP 盒装载到每个过程和中间储料器以及从 OHT 站取回的设备。

(1) 将水分含量控制在极小量（ppb 至 1 位数 ppm）的过程

　⇒ TK-100 电容式露点计（氧化铝型），可测量低露点 -100° C (

2) 极微量水分 (ppm) 由

　⇒ TE-660 露点仪（聚合物型）低露点为

-60

　°C 的过程控制。（镜面型）露点仪

④ 过程和无尘室需要相对湿度水平控制的

　⇒ 简单的 EE060

⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的过程

　⇒ 主要在高温和高湿度下测量 EE33 带防结露措施的温湿度计

氧气浓度测量

(1) 需要通过氢气置换

　等去除氧气的工序⇒ 2001LC 原电池式氧气浓度

深圳九州工业品有限公司成立于2016年，坐落于年轻奋进的深圳市，是一家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸易、经营进出口等业务。联合国际名品牌搭建工业品供应链，采用与 MRO分销商结盟的方式，把零散采购订单集中处理，流程简化，提供一站式供应服务。在美国、德国、日本、韩国、中国台湾建立采购中心，以流的专业国际采购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与厂家建立快捷、有效的沟通，和众多国外生产厂家建立了长久合作伙伴关系。

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