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美国Laurell ø300mm旋涂机

  • 产品型号:H6-15
  • 更新时间:2024-09-02

简要描述:美国Laurell ø300mm旋涂机 H6-15
劳雷尔 H6-15​旋涂机 结构紧凑,功能先进,是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径最的大为ø 300mm 的晶圆和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板,最的大转速为12,000 RPM(基于ø 100mm 硅晶圆)。

产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域综合

美国Laurell  ø300mm旋涂机 H6-15

劳雷尔 H6-15旋涂机 结构紧凑,功能先进,是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径最的大为ø 300mm 的晶圆和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板,最的大转速为12,000 RPM(基于ø 100mm 硅晶圆)。

封闭式碗状设计,加上过程控制器的精确性,可使大多数涂层材料在静止状态下干燥,从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭,以提供重叠密封,盖子内部有一个特殊的排水沟,用于将流体引导到系统后部,以防止化学品意外滴落到基材上。

美国Laurell  ø300mm旋涂机 H6-15

劳雷尔 H6-15旋涂机 结构紧凑,功能先进,是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径最的大为ø 300mm 的晶圆和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板,最的大转速为12,000 RPM(基于ø 100mm 硅晶圆)。

封闭式碗状设计,加上过程控制器的精确性,可使大多数涂层材料在静止状态下干燥,从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭,以提供重叠密封,盖子内部有一个特殊的排水沟,用于将流体引导到系统后部,以防止化学品意外滴落到基材上。


美国Laurell  ø300mm旋涂机


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