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产品分类简要描述:美国Laurell ø200mm旋涂机WS-650-8B Laurell WS- 650-8 B 旋涂机 结构紧凑,功能先进。 这款 650 系列涂布机系统可容纳直径达ø 200 毫米的晶圆和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大转速为12,000 RPM(基于直径ø 100 毫米的硅晶圆)。
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
---|---|---|---|
应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
美国Laurell ø200mm旋涂机WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂机 结构紧凑,功能先进。 这款 650 系列涂布机系统可容纳直径达ø 200 毫米的晶圆和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大转速为12,000 RPM(基于直径ø 100 毫米的硅晶圆)。
Laurell 独的特的内部碗状设计消除了溅回现象,因此无需安装“溅水环"。我们的排气排水适配器配有可拆卸储水箱,既实用又方便。
封闭式碗状设计,加上过程控制器的精确性,可使大多数涂层材料在静止状态下干燥,从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭,以提供重叠密封,盖子内部有一个特殊的排水沟,用于将流体引导到系统后部,以防止化学品意外滴落到基材上。
美国Laurell ø200mm旋涂机WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂机 结构紧凑,功能先进。 这款 650 系列涂布机系统可容纳直径达ø 200 毫米的晶圆和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大转速为12,000 RPM(基于直径ø 100 毫米的硅晶圆)。
Laurell 独的特的内部碗状设计消除了溅回现象,因此无需安装“溅水环"。我们的排气排水适配器配有可拆卸储水箱,既实用又方便。
封闭式碗状设计,加上过程控制器的精确性,可使大多数涂层材料在静止状态下干燥,从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭,以提供重叠密封,盖子内部有一个特殊的排水沟,用于将流体引导到系统后部,以防止化学品意外滴落到基材上。