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产品型号：H6-23
更新时间：2024-09-02简要描述：美国Laurell ø150mm旋涂机H6-23劳雷尔 H6-23旋涂机 结构紧凑，功能先进，是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径达ø 150mm 的晶圆和 5“ × 5“ (127mm × 127mm) 的基板，最的大转速为12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圆）。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
美国Laurell ø150mm旋涂机H6-23
劳雷尔 H6-23旋涂机 结构紧凑，功能先进，是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径达ø 150mm 的晶圆和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板，最的大转速为12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圆）。
封闭式碗状设计，加上过程控制器的精确性，可使大多数涂层材料在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。
美国Laurell ø150mm旋涂机H6-23
劳雷尔 H6-23旋涂机 结构紧凑，功能先进，是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径达ø 150mm 的晶圆和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板，最的大转速为12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圆）。
封闭式碗状设计，加上过程控制器的精确性，可使大多数涂层材料在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。
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