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波兰prevac基本质谱系统032 PRIMS的产品介绍

更新时间:2024-08-27      浏览次数:121

波兰prevac基本质谱系统032 PRIMS的产品介绍

  简单且功能齐全的溅射沉积装置,用于可重复的薄膜层应用。 即插即用的紧凑设计。 

  工艺室 包含 3 个磁控溅射源端口(用于金属和无机物),采用溅射向下配置安装。最多可同时使用两个源(共沉积)基底台适用于直径最大 2 英寸的样品,具有加热和旋转选项。

2.jpg特征

1.即插即用结构 

2.易于使用的移动装置,可快速测试和溅射涂层

3.处理室配有大型真空门,方便更换靶材或基材 

4.配备MS2 100 ISO-K 磁控管源和新型M600DC-PS 电源

5.可承载直径达 2英寸样品 的基片台

6.加工室直径:Ø 355 毫米 

7.3 个2 英寸磁控管源端口 

8.1 个视口 – 带百叶窗的观察窗 

9.防止交叉污染的保护屏障 

10.基准压力范围 10 -7 mbar 

11.带真空计的快速抽气系统 

12.通过质量流量控制自动计量氩气


描述

  快速泵送系统(带有手动节流阀)与小容量的工艺室相结合,使您能够在短时间内达到基准压力。

  工艺室配备HV标准的连接法兰,用于连接现有和未来的设备,包括: 最多 3 个2" 磁控管源,基板操纵器,泵送系统m,防止交叉污染的保护盾,石英天平,视口 - 带百叶窗的观察窗,真空计,高温计。



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