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更新时间：2024-08-08 
浏览次数：168日本takatori ATRM-2500UV 表面保护胶带剥离装置（无胶带剥离机）
产品介绍
特征
由于不需要传统的离型胶带，因此有助于降低生产成本。
由于无需更换剥离胶带，因此减轻了操作者的负担。
由于使用我们独的特的技术控制针高度，因此无需担心针与晶圆接触。此外，可以使用基于晶圆厚度的配方来控制针高度。
我们还可以处理 100μm 的薄晶圆和翘曲晶圆。
与使用粘合剂或焊接的剥离方法不同，胶带是机械夹住并剥离的，这减少了与胶带的兼容性问题。
即使无法用针剥离，我们也可以使用使用传统剥离胶带的剥离胶带剥离机构。*常规剥离功能为标准配置。
可采用非接触式手等沿工件输送。
兼容 TAIKO 晶圆。
可配备内置紫外线照射器。
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