EddyCus在线SR /工具集成式非接触在线薄层电阻监控解决方案
这种非接触式薄层电阻监测系统可在制造过程中直接高速、非接触地测量薄层电阻。典型的工艺包括在晶片、箔、纸、聚合物或其他衬底上的PVD、CVD、电镀或传统沉积工艺。特别地，这些工艺包括溅射、蒸发、外延或电镀工艺。此外，这还涉及喷涂、缝模涂布或电子印刷工艺。此外，薄膜退火和掺杂或印刷电子器件烧结等薄层电阻增强工艺受益于电气完整性的在线监测。氧化、蚀刻、抛光以及清洁和干燥过程的影响也是这种先进测试技术的广泛应用范围的一部分。薄层电阻值通常被传送到MES系统用于质量保证，特别是用于过程控制。
更新时间：2024-04-02 
浏览次数：134
您的位置：
在线咨询
返回顶部