EddyCus TF lab 4040 Sr–非接触式单点薄层电阻测试仪
这EddyCus TF lab 4040 Sr
是一种非接触单点薄层电阻测量系统。该设备包含一组涡流传感器，可将微弱电流感应到导电膜和材料中。样品中的感应电流产生电磁场，该电磁场与测量对象的薄层电阻相关。该技术与表面特征或形态无关。此外，它不需要任何种类的充分样品接触或制备，例如从2点或4点探针测试（2PP，4PP）或霍尔效应或范德堡测量中已知的。它既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外，测量不会对被测薄膜产生物理影响。由于存在机械磨损，涡流仪器的使用寿命较长。它不受接触质量的影响，速度快，可实现高重复性和高精度，有利于R&D和测试实验室各种薄膜的系统质量保证。EddyCus工具可以由具有各种数据记录和导出功能的SURAGUS软件驱动，也可以由SURAGUS软件开发套件驱动的客户软件驱动。
更新时间：2024-04-02 
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