csys激光扫描表面形状检查机CSYS12-300介绍？

更新时间：2024-03-07

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激光扫描表面形状检查机

核心系统“CSYS"系列的激光扫描宽度为40毫米，可以测量大范围内的微小高度变化。其他公司无法重现实际的表面变化，因为它们将小区域的数据图像拼接在一起。

核心系统是“激光表面形状检查机"，可检查半导体晶圆（Si、SiC、GaN等）、MEMS、硬盘、FPD用功能膜、溅射薄膜等的“表面形状"和“粗糙度"。可以高灵敏度、快速、大范围地检查“起伏"、“颗粒"、“划痕"，并显示“数字数据"和“3D图像数据" ."

【特征】

① 非接触式激光扫描显示表面形状（粗糙度、波纹度、划痕、污垢、颗粒）测量数据

② 检测灵敏度高，可在较宽的测量范围内进行快速测量，并可进行数字图像显示。

③ 光学检测原理和结构简单，可靠性高

④ 由于40毫米的扫描宽度是在2.8毫秒的短时间内完成扫描的，因此具有的抗振能力，不需要隔振台或隔振装置。

⑤ 所有在线过程的无损检测，可实现自动化

[被测工件]

半导体晶圆、硬盘、金属薄膜、薄膜、FPD、MEMS等