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更新时间：2023-12-11 
浏览次数：175自动化晶圆处理 > 晶圆搬运 > 低接触全自动晶圆传输机 - LCT1AS12
产品
描述
桌上型自动高性能水平晶圆转移工具。先进的低接触晶圆传输机可提供最洁净、可靠和快速的标准晶圆和易碎晶圆传输方式。
坚固的结构设计提供高可靠性和低维护成本，小体积的设计节省宝贵的洁净室空间。LCT1AS12兼容所有业界标准的FOUP、FOSB和SEMI标准金属和塑料开放式料盒。
LCT1AS12 特性：
触摸屏控制
FOUP 转 FOSB
交叉槽、晶圆重叠和晶圆存在的传感器映射检查
PVDF 涂层杆
一次传输 25 个晶圆
规格
晶圆尺寸300
电源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 电源单独出售
吞吐量每小时 60 盒
重量75 磅
附加信息
装运重量165磅
装运尺寸19 × 35 × 20 英寸
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