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产品分类产品
描述
桌上型、自动化、高价值的薄片晶圆和化合物晶圆转移工具。 先进的低接触晶圆传输机(LCT)可提供最洁净、可靠和快速的晶圆传输方式,
无论是一般标准晶圆或是易碎晶圆都可在的方式下在两个料盒之间传输。高可靠性和低维护成本。小体积的设计节省了宝贵的洁净室空间。
LCT2具有触摸屏控制,聚偏二氟乙烯涂层杆,料盒门和晶圆检测功能。
LCT2 特点:
触摸屏控制
支撑杆采用PVDF 涂层,一次传输 25 个晶圆
料盒门存在检测
料盒和工具中晶圆存在检测
规格
晶圆尺寸76, 100, 150, 200mm
电源要求220VAC 至 24VDC 3 安培电源单独出售
产品尺寸10"宽 30"长 16"高
重量40磅
附加信息
装运重量95磅
装运尺寸16 × 36 × 24 英寸