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更新时间：2023-12-02 
浏览次数：191垂直晶圆传输机-全自动AVT
产品
描述
桌上型自动双料盒垂直批量晶圆转移工具，AVT是一种可靠性高、维护需求低的工具。通过简单的设计实现先进功能，提供更好的用户体验。安全传感器确保料盒正确装载，保证晶圆传输一致性。
下单时需要支持的料盒型号
晶圆接触材料：抗静电聚丙烯和缩醛，高纯度材料，具有良好的耐磨性、耐热性和出色的耐化学腐蚀性。
AVT 的特点：
一次传送 25 个晶圆。
30 秒循环时间。
升降梳由防静电缩醛材料制成。
固定梳由黑色缩醛制成。
规格
晶圆尺寸76, 100, 150, 200mm
电源要求220VAC 3 安培 至 24VDC 电源单独出售
吞吐量每小时 60 盒
重量40磅
附加信息
装运重量100磅
装运尺寸28 × 16 × 30 英寸
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