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更新时间：2023-12-02 
浏览次数：202自动化晶圆处理
晶圆搬运
单片式晶圆分选机-全自动WS300
产品
描述
300mm晶圆分选机配有映射末端执行器，是一种具有低成本高效益的自动化工具，可减少因手动搬送晶圆而导致的晶圆破损和划伤。
包含集成用户界面，边缘夹持300mm晶圆传输/分选机兼容所有SEMIFOUP、FOSB和金属料盒。在取出或装入晶圆之前，将晶圆轻轻地提升料盒插槽中间，可以大限度地减少了晶圆与料盒的接触，从而减少了颗粒产生和晶圆边缘破碎。WS300还包括晶圆映射器，用于在启动任何传输程序之前验证晶圆位置。
附加信息
装运重量500磅
装运尺寸55× 36 × 67 英寸
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