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更新时间：2023-11-23 
浏览次数：213photoelectronsoulPES-2020电子束系统®应用 ：半导体晶圆检测设备
【产品特点】
电子束比肖特基亮 10 倍以上
世界数字选择性电子束™ (DSeB) 功能
多束兼容，可形成任意形状的电子束
即使在长期运行期间也能保持高可用性和出色的输出稳定性
[机身规格]
加速电压：可调至-50kV
光束电流：200 uA 或以上
尺寸：821 mm x 722 mm x 562 mm（高 x 宽 x 深）
重量：140 kg
激光等级：4 级
安全标准：SEMI S2合规的
电子束工作在15uA电流下，稳定性为0.033% (g)，正常运行时间为96%(达到)由于光阴极表面功能的恶化，光阴极的量子效率下降。根据量子效率(绿线)的恶化，通过控制激光功率(黄线)来保持电子束电流(蓝线)的稳定。通过表面再活化，表面功能得到了恢复。
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