低压差质量流量控制器，最小工作压差为800Pa。

通过开发的环境温度补偿传感器降低压力损失，该传感器具有低压力损失规格和±1%FS的精度。

专有的压电执行器阀可提供精确的流量控制和低压差稳定性。


特征

  • 低压差（800Pa）

  • 工作温度5-50℃

  • 金属密封

  • 清洁（保证颗粒）

  • 环境温度补偿传感器

  • RS-485通讯

选项

  • 微流FS

低温低蒸气压气体流量控制

MC-3000S是一款低差压质量流量控制器，采用开发的低压降结构，即使在室温下，只要二次侧处于真空状态，也可以控制H2O等液体原料的流量。推荐用于向真空室发送少量水蒸气的 ITO 溅射方法。此外，还可以在室温下控制XeF2等低蒸气压固体材料的流量。

真空罐式集装箱（SDS集装箱）流量控制

离子注入机使用AsH3、PH3等特殊材料气体，为了安全稳定地供应，通常采用安全传输源（SDS）容器来供应。SDS填充的罐压低于大气压，需要MFC能够以低压差控制流量。MC-3000S的低压降结构可实现最小压差800Pa（6Torr）的流量控制。

规格表


温度最小压差最大压差准确性控制范围最小满量程最大满量程贴纸
5~50℃800帕133kPa±1%满量程
2~100%满量程
2SCCM30SCCM金