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产品分类HX系列高效紧凑型加热控制器,可瞬间加热流体。
各种流体加热
可靠的废物加热
质量流量控制器后的气体加热
SUS316L加热块可防止加热器与流体直接接触,从而可以瞬间加热流体,而不会腐蚀SUS316L。
流经管道的气态流体具有不易升温、易冷却的特点。
通常,管道内的流体使用带式加热器从管道外部加热,但从外部加热使得热量难以到达中心。热交换器 (HX) 可以瞬间加热流体内部的气体,从而实现可靠的流体加热。
在半导体制造工艺中,不仅需要加热气体,而且还需要以受控的流量加热气体。因此,为了利用气体加热器的一次侧的质量流量控制器来控制流量,需要气体加热器(二次侧)的压降较低。质量流量控制器制造商(琳得科)的气体加热器(HX)具有低压降结构。