与DeviceNet通信兼容的质量流量控制器。

安装在最新半导体制造设备中的控制设备越来越多地使用开放现场工作通信来实现高速控制和简化布线，而不是模拟控制。

琳得科在业内
开发了 MC-5000L，这是一款符合 SEMI 标准的 DeviceNet™ 通信质量流量控制器。配备半导体制造所需的金属密封件和环境温度补偿流量传感器。还提供各种选项，例如兼容液化气体。