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更新时间：2023-11-18 
浏览次数：157用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。
适用于半导体工艺的高性能质量流量控制器 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 标准，可以使用 EtherCAT 通信进行控制，该通信用于加速半导体制造设备的传输系统。
标准配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和琳得科的环境温度补偿流量传感器，还可以添加与液化气体兼容等选项。
精度±1%SP
金属密封
清洁（保证颗粒）
环境温度保证传感器
EtherCAT通讯
微流FS
兼容液化气
大范围
越来越多的半导体制造设备配备了 EtherCAT 通信（数字 I/F），用于高速控制机械臂等运输系统。EtherCAT通信有65,536个节点，所有MFC测量系统和运动系统元件都可以集成到EtherCAT通信中。
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