lintec-mfc/MC-7000系列特征？

更新时间：2023-11-18

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快速响应质量流量控制器

响应时间200毫秒的超高速质量流量控制器。

使用热传感器实现 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科的非接触式热流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

±1.0% SP的高精度流量精度，数字通信方式可选择DeviceNet和EtherCAT。

特征

超高速流量控制200msec
精度±1%SP
工作温度5-50℃
金属密封
清洁（保证颗粒）
环境温度补偿传感器
EtherCAT通讯
DeviceNet™ 通信

使用示例

快速蚀刻工艺

在半导体制造工艺中，需要在小型化的同时提高产量。即使对于控制反应气体流量的质量流量控制器，对更短的流量控制启动（上升）时间的需求也在不断增加。超高速质量流量控制器[MC-7000]是流量传感器与流量测量气体不接触的非接触式热式流量传感器，实现了200℃的超高速响应。毫秒。由于是非接触式，因此可以在测量腐蚀性气体的流量时进行高速流量控制。

规格表

_温度	_最小压差	_最大压差	_准确性	_控制范围	_{最小满量程}	_{最大满量程}	_贴纸
_5~50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%SP	_{2~100%满量程}	_5SCCM	_20SLM	_金

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