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更新时间：2023-10-30 
浏览次数：297采用固定桥式结构，可提供初项达0.28微米的测量精度。
LEGEX系列是初项达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或地降低其影响。
本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。
用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元（自社开发），该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射线性编码器的组合，具有位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。此外，提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。
● 初项精度：0.28μm~
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