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更新时间：2023-10-19 
浏览次数：233可以执行各种操作模式，例如关闭或打开阀盘（阀盘）、将其定位到任何位置以及改变打开/关闭速度。
一台设备即可实现全封闭和电导调节。
可以从压差状态（真空-大气压）开启。
采用直接电机驱动机构和高精度齿轮箱，提供出色的位置精度重复性。
根据控制方式，可实现开度调节、速度调节等多种动作模式。(注1)
适用于大流量排气，具有优良的耐久性。非常适合 FPD/OLED 相关设备（涂布机系统、粘合设备等）。
可以使用角度显示指示器从外部确认阀体的位置。
通过添加可选的双自动压力控制系统控制器进行控制，也可用作自动压力控制阀。
| 类型 | MBV-ADII-M4（三菱电机/MR-J4系列） M B V - A D II - M4 Br (电机规格：带制动器) |
|---|---|
| 口径 | 50A、65A、80A、100A、150A、200A、250A |
| 泄漏量 | 1×10 -9 Pa・m 3 /s以下 |
| 使用面积 | 10 5 ~10 -6帕 |
| 圆盘密封*1 | 三元乙丙橡胶O型圈 |
| 轴封*2 | 三元乙丙橡胶O型圈 |
|---|---|
| 气体接触材料 | SUS304 |
| 指标 | 带角度外部显示指示器 |
| 附带伺服放大器 | MR-J4-A-RJ（支持定位模式） |
| 选项 | 开/关检测光电传感器 |
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