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产品分类长寿命 500,000 至 100 万次循环
价格低廉 可以以较低的价格实现自动压力控制。
高性能 采用高性能伺服电机和新型驱动机构
高功能性 可实现全闭环、多级位置控制、自动压力控制。
您可以选择电机位置。(4个位置)
MBV-LDⅡ-M4- R
MBV-LDⅡ-M4- L
MBV-LDⅡ-M4- F
MBV-LDⅡ-M4- B
可通过一台装置进行全封闭和电导调节,还可进行最小电导控制。
可以从压差状态(真空至大气压)开启。
使用高精度齿轮箱可实现出色的位置精度重复性。
除全关、全开外,还可停在最多13个位置的任意位置。
使用可选的伺服支持软件可以轻松进行定位设置。
通过添加可选的双自动压力控制系统控制器进行控制,也可用作自动压力控制阀。
可以使用角度指示器从外部确认阀体的位置。
通过选择电机位置,可以灵活适应各种布局,并且可以有效利用安装的排气系统的空间。
标准配备用于全关闭位置检测的光电传感器
带制动器的电机规格也可作为选件提供。(型号:MBV-LDⅡ-M4Br-ARJ)
法兰型 | JIS/ISO/CF/NW |
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泄漏量 | 1×10 -9 Pa・m 3 /s以下 |
使用面积 | 10 5 ~ 10 -6帕 |
盘式密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
轴封 | Viton O 型圈 2 级 |
口径 | 25A~300A |
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电源规格 | 主电源 AC200V(额定电流 1.5A) 控制电源 AC200V(额定电流 0.2A) 接口电源 DC24V(最大 500mA) |
控制方式 | 交流伺服方式 |
气体接触材料 | SUS304 |