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更新时间：2023-10-17 
浏览次数：314n-seisen
半导体气体过滤器的特征介绍是什么？
用于工艺气体
这是世界上使用短不锈钢纤维的金属膜过滤器。
实现高颗粒去除性能和低压力损失。
适用于100SLM以下的流量，可用于各种工艺气体。
N拍容Sc米lean工艺气体管线用小流量过滤器
NASclean@工艺气体管线用小流量过滤器，
使用本公司自主开发的不锈钢短纤维构成的介质的过滤器。
超微孔的双层单金属膜结构，干燥特性、气体置换特性优异。
高空隙率，流量特性优异，实现了除粒性能。
特徽
良好的流量特性
干式降压气体置换特性
除颗粒性能*功能
高颗粒去除功能
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