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更新时间：2023-09-06 
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SF6气体露点控制
气体变压器/气体断路器
气体绝缘开关设备
半导体和液晶面板的干法蚀刻工艺
SF6气体回收及再利用
变压器/气体断路器的 SF6 纯度和露点测量
SF6（六氟化硫）气体是《京都议定书》中规定削减目标的温室气体，据说单位体积的温室效应约为二氧化碳的23,400倍。SF6 气体在断路器、变压器、半导体工艺等中用作绝缘气体，水分含量和 SF6 纯度的测量对于保持绝缘程度至关重要。
另一方面，迄今为止，日本的普遍做法是在测量过程中将其释放到大气中，或者在不释放的情况下付费收集和分解。通过使用MBW973-SF6，测量的SF6气体可以返回到原始设备而不释放到大气中，从而可以消除大气排放。
到目前为止，电容式由于其易于获得而被广泛使用。另一方面，MBW973-SF6采用高精度镜面法进行露点和纯度测量，可实现±0.5°C和0.5%的高精度测量，响应速度快，随时间的推移劣化很小。通过使用该设备，可以大大减少操作员的工作时间并轻松执行可靠的测量。
SF6气体通过与水分反应来净化HF气体和SO2气体。MBW973-SF6可以测量0-100ppm或0-500ppm范围内的SO 2 。该传感器采用电化学电池，测量精度为满量程的±2%。
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