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产品分类测量测试仪(RT-70V)和测量台的组合
<测量测试仪:RT-70V>
使用 JOG 旋钮轻松操作 ・厚度、温度、PN 输入(RT-70V 测试仪)
自检功能、自动测量范围切换、4 种测量模式
具有厚度和温度校正功能(适用于硅)
半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、SiC等)
新材料/功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等)
导电薄膜相关(金属、ITO等)
扩散样品
*取决于组合测量台类型。
圆形:最大 300 毫米(12 英寸),方形:最大 730 x 920 毫米。
[电阻率(电阻率)] 1μ ~ 300kΩ・cm
[表面电阻] 5m ~ 10MΩ/sq
[电阻率(电阻率)] 1μ~300kΩ・cm
[表面电阻] 5m~10MΩ/sq
RT-70V:W250×D330×H130mm
约7kg
1. RG-7C:电动探针升降自动平台
2. RG-5:带手动杆的探头上/下平台
3. RG-7S:玻璃基板/薄膜样品的X-Y平台
4.TS-7D:手持式探头型 *可选配载物台。