型式	PPS-8500
板材尺寸	510 x 515mm(Max)
解像力	2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm)
NA（开口数）	0.16、0.1可变
缩小比	1:1
Field尺寸	52mm × 33mm
光刻波长	ghi-Line gh-line i-line(与菜单连动)
视野尺寸	6inch
重复对位精度	≦1.0 µm(|Ave|+3σ)
装置尺寸／重量	（W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg