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产品分类用途:
支持多种应用程序
支持WL-CSP、IGBT、CIS等的光刻6/8/12英寸。
特长:
宽带曝光(与配方联动的自动切换ghi线gh线,i线)。
搭载可变NA功能(0.16和0.1的可变)。
最多8个字段的条形图设计格式。
由抗蚀气体和周边环境化学保护的光学系统。
规格:
型式 | PPS-8200/8300 |
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ウェーハサイズ | 6/8/12インチ |
解像力 | 2.0 µmL/S(2.0 µm レジスト厚) |
NA(开口数) | 0.16、0.1可変 |
缩小比 | 1:1 |
Fieldサイズ | 52mm × 33mm |
露光波长 | ghi-Line gh-line i-line(レシピ连动) |
レチクルサイズ | 6inch |
重ね合せ精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
装置サイズ/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |
主要オプション | バックサイドアライメントシステム ウェーハ周辺露光システム ウェーハ周辺非露光システム 薄ウェーハ搬送システム GEM通信対応 インライン対応 |