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更新时间：2023-05-08 
浏览次数：229低脉动
驱动机构将波纹管的运动控制到消除泵脉动的最佳相位。实现极低脉动运行。（ PAT。）
适用于单晶圆工艺的出色负载跟随性
通过进行相位控制，提高了负载变动时的跟踪性能。特别是在单晶圆工艺等压力波动频繁的生产线中，其高负载跟随性可实现吐出量和吐出压力的稳定运行。
无需阻尼器，节省空间
由于不需要安装阻尼器，因此可以节省设备空间。配管作业简单，可减少氟树脂接头等昂贵的配管材料，有助于实现设备的小型轻量化。
安全设计
波纹管焊接结构，防止漏液，即使波纹管破损，采用漏液传感器检测漏液情况
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